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  Thermal EMMI(InSb)

  設備工作原理：Thermal EMMI是利用InSb材質的偵測器，接收故障點通電后產生的熱輻射分布，藉此定位故障點(熱點、亮點Hot Spot)位置，同時利用故障點熱輻射傳導的時間差，即能預估芯片故障點的深度位置。

  
  

  應用領域范圍：

  集成電路、分立元器件、晶圓量測、TFT LCD面板產業(yè)、PCB/PCBA產業(yè)。創(chuàng)芯在線實驗室檢測能力優(yōu)勢：

  （1）機臺半自動化，分析效率更快；

  （2）影像清晰，失效點位置有坐標參考位置，定位更精確；

  （3）可以對3D封裝 (stacked die)的芯片失效點的深度預估；

  （4）由電氣專業(yè)領域資深工程師分析測試。

  
  

  設備測試能力:

  1、檢測芯片封裝打線和芯片內部線路是否短路；

  2、對Probe探針量測晶圓短路的樣品進行局部熱點定位，便于CP、3FIB&SEM/EDS測試；

  3、介電層 (Oxide)漏電分析；

  4、晶體管和二極管的漏電分析；

  5、TFT LCD面板&PCB/PCBA的金屬線路是否存在缺陷和短路；

  6、ESD 閉鎖效應；

  （1）3D封裝 (Stacked Die)失效點的深度預估；

  （2）芯片未開蓋的故障點的定位偵測；

  （3）低阻抗短路(＜10ohm)的問題分析。

  7、設備拍照能力：

  芯片絲?。涸诘捅堵氏拢汕宄闯鲂酒砻娼z印(Marking)。

  

  
  

  實驗室設備優(yōu)勢：

  1、低阻抗失效樣品偵測：

  在阻抗極低的短路失效樣品中，利用InGaAs與OBIRCH并無法偵測到亮點，但Thermal EMMI可以成功清楚偵測到亮點，并且可以量測亮點相對坐標，便于進一步Delayer 或FIB-SEM/TEM分析。

  

  2、芯片可以在非破壞性的條件下偵測到熱點：

  芯片不需要開蓋(Decap)，也可偵測出熱點(亮點Hot Spot)，結合X-ray檢測可以判斷熱點區(qū)域是在裸晶（Die）還是在封裝上。

  

  3、PCB短路偵測：

  PCB短路問題也可以偵測到Hot Spot(熱點)。

  

  
  

  設備圖片：

  

  2025年12月09日 14:09